“量子透镜?”
老教授皱起眉,“制造精度要求至少是
0.1nm
级,我们国内的加工技术能做到吗?”
白梦瑶早有准备,把笔记本推到桌中央,上面密密麻麻写着透镜参数和加工厂商的调研结果:“我查了航天科工的超精密加工实验室,他们去年已经能做出误差
0.5nm
以内的碳化硅透镜,只是需要定制专用磨床,
我已经和那边的工程师沟通过,只要我们提供准确参数,三个月就能出样品。”
线路模糊的问题有了方向,量子隧穿的难题又冒了出来。白梦瑶想起星际时代常用的
“二维材料涂层”,话到嘴边换成了另一个说法:“我查了材料学院最新的研究,他们研发的‘石墨烯
-
氮化硼异质结’,在
10nm
厚度下能形成稳定的电子势垒。如果涂在晶圆表面,既能抑制量子隧穿,又不会影响电路导电。”
怕大家有顾虑,她又补充道:“我前天刚和材料学院的李师兄聊过,他们下周就能提供
5
片样品,我们可以先做小范围的漏电测试。”
接下来的大半年,实验室成了白梦瑶的第二个家。量子校正透镜的第一次测试,线路边缘误差还是
3.2nm,她和团队对着数据熬了两个通宵,把透镜曲率从
1.2mm
调整到
1.18mm,又将量子场强度下调了
15%。
第三次测试误差降到
2.1nm,第五次
1.5nm,直到第八次
当检测仪器的屏幕上跳出
“0.8nm”
的数字时,一直盯着屏幕的年轻研究员突然拍了下桌子,声音都在抖:“成了!误差真的降到
0.8nm
了!”
老教授推了推滑到鼻尖的眼镜,伸手抹了把眼角,没说话,却重重拍了拍白梦瑶的肩膀。
而石墨烯
-
氮化硼涂层的难题,也在一次次试错里找到解法。最初涂层总在高温下脱落,白梦瑶盯着电镜下翘起的涂层边缘想了半天,突然想起生产线常用的等离子体清洗工艺。
“要不试试用等离子体预处理晶圆表面?”
她抱着样品去等离子体实验室,调整了三次气体比例和处理时间,终于让涂层的附着力提升了
40%,高温测试时再也没出现脱落。
最关键的全流程测试那天,整个实验室都静得能听见呼吸声。光刻机启动时发出轻微的嗡鸣,euv
光源穿过量子校正透镜,像一道看不见的精细刻刀,在涂有异质结的晶圆上缓缓划过。
所有人的目光都盯着检测仪器的屏幕,当
“线路边缘清晰,漏电率
0.01%”
的字样跳出来时,不知是谁先喊了一声
“成了!”,紧接着,欢呼和掌声瞬间填满了实验室。有人抱着数据本跑圈,有人互相击掌,有的人已经激动地落泪。吴教授拿着检测报告,手指都在颤:“小白,你又一次把‘不可能’变成了‘可能’!”
面对围过来追问思路的团队成员,白梦瑶只是笑着把手里的参数表递过去:“都是基于