为了不让人起疑，她还

“故意”

在原型设计中留了个小漏洞。初期陶瓷驱动电压不稳定，后来

“和团队一起”

调整了电压反馈电路才解决。

当晶圆台高速运转时，激光干涉仪显示振动值稳定在

0.03nm，吴教授拍着她的肩膀感叹：“小白，你这思路，比我们钻了五年牛角尖的还通透！”

最后一个

“光刻胶分辨率”

难题，是最棘手的。传统光刻胶曝光后容易收缩，3nm

电路总出现毛边。

白梦瑶想到星际光刻胶里的

“纳米晶须”，却换成了

l

国已有的

“碳纳米管”。

她提出:“在光刻胶里加表面改性的碳纳米管，能提升刚性，减少收缩。”

但碳纳米管容易团聚，她又

“借鉴”

星际材料处理工艺，提出

“等离子体接枝改性。”

接着她又提议:“用氧等离子体处理碳纳米管表面，增加和树脂的相容性。”

经过三十多次配方调整，新型光刻胶终于成功，3nm

电路图案清晰，良品率从

10%

飙升到

88%。

当团队用改进后的光刻机，在晶圆上刻出完整的

3nm

芯片电路时，距离白梦瑶加入课题刚满七个月。

吴教授拿着检测报告，在团队会议上反复说：“白梦瑶总能从我们忽略的角度找到突破口，这就是年轻科研者的创造力！”

没人会怀疑她，毕竟她的每一个方案，都能找到现有文献的理论支撑。

每一次调试都

“和团队一起”

解决问题，看起来就像个

“天赋异禀、善于思考”

的普通学霸。

转眼读研已经过去了一年，白梦瑶的研究生生涯已过半，她和吴教授团队研发的

3nm

光刻机技术，早已成功落地投产。

l

国多家芯片企业用上了这项技术，彻底摆脱了对国外高端光刻机的依赖，相关成果还入选了年度

“国家重大科技突破”。

3nm

光刻机研发成功的消息传到首都国防科技大学时，白蒹正在实验室调试新型雷达信号处理系统。

作为电子信息专业的尖子生，他不仅学业拔尖，还参与了学校与军工企业合作的

“智能通信终端”

项目。