稳定功率，晶圆台靠

“磁悬浮

+

量子定位”

消除振动，光刻胶则添加

“星际纳米晶须”

提升刚性。但这些技术太超前，直接提出会暴露自己，她只能

“降维”

改造，伪装成

“基于现有理论的创新”。

“我愿意试试。”

白梦瑶合上资料，眼神坚定。既能帮

l

国突破技术封锁，又能合理运用自己的能力，这是最好的选择。

一个月后，针对第一个瓶颈

“euv

光源稳定性”，白梦瑶没有提

“等离子体约束场”，而是提出

“双腔室磁控反馈”

方案：在光源发生器外加一个辅助腔室，用电磁线圈产生弱磁场约束等离子体，再通过光纤传感器实时监测功率，动态调节惰性气体流量。

团队起初质疑

“磁场会干扰光源”，白梦瑶却拿出早已准备好的仿真数据：“弱磁场强度控制在

50

高斯以内，只会稳定等离子体，不会产生干扰，还能把功率波动从

5%

降到

1%

以下。”

经过一个半月调试，当监测屏幕上的功率曲线几乎成了一条直线时，实验室里的工程师们都忍不住围过来，追问她

“怎么想到用磁场辅助”？白梦瑶只笑着说：“看文献时碰巧看到磁场对等离子体的影响，试着推导了一下。”

解决完光源，第二个难题

“晶圆台振动控制”

来了。团队原有的液压驱动方案，高速移动时振动始终降不到

0.1nm

以下。白梦瑶想起星际

“磁悬浮晶圆台”，却故意简化为

“压电陶瓷

+

激光干涉”

方案：“压电陶瓷响应速度快，能精准补偿位移。再用双频激光干涉仪实时定位，误差能控制在0.05nm。”